La technologie de mesure de force dans toute sa diversité

Technique des films minces

Dans le monde entier, la grande majorité des capteurs de force sont fabriqués avec des jauges de contrainte sous forme collée. Mais Primosensor examine toujours la possibilité de savoir si, dans certains cas, les souhaits du client ne seraient pas mieux couverts par des capteurs fabriqués selon la technique des couches minces ou épaisses.

Dans ce procédé, les matériaux sensibles à la dilatation sont déposés directement sur la surface métallique du capteur dans des installations de revêtement sous vide, puis structurés par photolithographie. Cela permet des structures de circuit très fines. Cela offre en outre la possibilité de renoncer aux colles organiques pour certaines exigences techniques (radioactivité).

En règle générale, le revêtement direct des capteurs de force n’a de sens économique que si le capteur n’est pas trop grand, car les coûts du revêtement augmentent proportionnellement à la surface. Cela signifie inévitablement, étant donné que des charges nominales plus élevées sont liées à un corps de capteur plus grand, qu’il faut trouver une autre possibilité pour la plupart des applications dans le domaine des capteurs de force afin de pouvoir utiliser la technique des couches minces de manière économique.

La solution consiste à produire en grande quantité de petits éléments de capteurs à couche mince afin de réduire le prix unitaire. Les éléments de détection, équipés d’un pont complet de Wheatstone, sont soudés dans ou sur les corps de déformation selon leur forme géométrique – petits pots ou plaquettes. Un contrôle sophistiqué des processus garantit la qualité élevée de nos produits.

À l’avenir, des couches très sensibles permettront d’obtenir une résistance élevée aux surcharges ou une charge nominale très faible pour les capteurs de force.

Rentabilité de la technologie des films minces

Les sondes à couche mince fabriquées sur mesure optimisent la rentabilité de la production

Pot avec pont complet de Wheatstone pulvérisé

Profil de hauteur de la soudure laser

Macrophotographie de la soudure

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