Bei diesem Verfahren werden die dehnungsempfindlichen Materialien in Vakuum-Beschichtungsanlagen direkt auf der metallischen Oberfläche des Sensors abgeschieden und anschließend fotolithographisch strukturiert. Dadurch ermöglicht sehr feine Schaltungsstrukturen. Das bietet darüber hinaus die Möglichkeit, bei bestimmten technischen Anforderungen (Radioaktivität) auf organische Klebstoffe zu verzichten.
Die direkte Beschichtung von Kraftsensoren ergibt in der Regel nur dann einen wirtschaftlichen Sinn, wenn der Sensor nicht allzugroß ist, da die Kosten für die Beschichtung flächenproportional zunehmen. Das bedeutet zwangsläufig, da höhere Nennlasten mit einem größeren Sensorkörper verbunden sind, dass für die meisten Anwendungen in der Kraftsensorik eine andere Möglichkeit gefunden werden muss, um die Dünnfilmtechnik wirtschaftlich einsetzten zu können.