Dickschichttechnik

Die Dickschichttechnik ist in der Kraftmesstechnik nicht verbreitet – zu Unrecht! Seit Stahl statt Keramik als Federkörper verwendet werden kann, lassen sich mit dieser Technologie kostengünstig sehr widerstandsfähige und langzeitstabile Kraftsensoren herstellen.

Bekannt ist die Dickschichttechnik als Herstellungsverfahren für Drucksensoren und Hybridschaltungen. Primosensor beschreitet neue Wege und nutzt diese Technologie zur Herstellung von Kraftsensoren.

Als Trägermaterial für den Dickschichtaufbau wird bei unseren Kraftaufnehmern nicht Keramik sondern Edelstahl verwendet. Dadurch bleiben die für Kraftaufnehmer üblichen Federeigenschaften und Überlastfestigkeiten erhalten. In einem mehrstufigen Schichtprozess werden Isolations-, Widerstands- und Kontaktschichten aufgedruckt und bei ca. 850°C gesintert. Eine Passivierungsschicht sorgt für den Abschluss gegenüber der Umwelt.

Niederlastkraftsensoren, deren Flächenbedarf nicht zu all zu groß ist, lassen sich sehr kostengünstig und langzeitstabil herstellen. Die Sensoren werden im Nutzen prozessiert und anschließend vereinzelt. Mit einem Widerstand von 10 kOhm benötigt die Wheatstone-Brücke wenig Energie und macht sie dadurch für batteriebetriebene Anwendungen interessant. Ein k-Faktor von 6-8 ermöglicht entweder ausgesprochen überlastfeste oder aber rauscharme Aufnehmer. Durch die Integration eines Vorverstärkers auf der Sensoroberfläche wird der Kraftaufnehmer zum „Sensorhybrid“, der sich durch extrem kompakte Bauweise auszeichnet.

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